新型 Aerotech QNP-L 平臺的行程范圍從 100 µm 到 600 µm

 

 

應用包括： 工業(yè)與科研 實驗室 納米技術 顯微鏡 半導體 微電子 測試與檢測 光學 光電 數(shù)據(jù)存儲 精密機械 金屬 生命科學 醫(yī)療器械

Aerotech (www.aerotech.com) 現(xiàn)已推出一系列壓電納米定位平臺 ，結構小巧、剛性高，有著壓納米級的性能。此款新型 QNP-L 平臺的行程范圍從 100 µm 到 600 µm ，其高精度、無摩擦的柔性鉸鏈 系統(tǒng)為其長久的使用壽命提供了保證。

這些平臺價格低廉結構小巧，適用于需要高精度直線運動的實驗室或者工業(yè)領域。它們具有出色的幾何性能（直線度和角誤差），同時將整體包裝尺寸降低到最小。

這系列平臺有開環(huán)和閉環(huán)兩種選項。閉環(huán)模式采用電容傳感器設計，能夠產生亞納米級定位解析度和高定位精度。這些傳感器能夠直接測量載物臺的位置，與間接反饋計量技術（例如應變計反饋）相比具有更好的直線度和重復定位精度。

不帶反饋的開環(huán)模式是一個低成本選項，適用于不需要絕對定位精度和重復定位精度的用途。同時有真空兼容版本選項。

QNP 系列包括 XY 和 Z 平臺，這些平臺可以很容易通過轉接板組裝在一起。

Aerotech 是領先全球的定位和運動控制產品供應商，其服務對象包括工業(yè)、政府、科研和研究機構。其產品為那些對于高定位精度、高產能運動控制解決方案有著苛刻要求的用途提供了至關重要的性能。