相干公司在激光功率檢測(cè)方面取得了激動(dòng)人心的技術(shù)進(jìn)展,該公司提供一種全新的探測(cè)器,結(jié)合了寬波長(zhǎng)靈敏度,動(dòng)態(tài)量程和對(duì)半導(dǎo)體光電二極管有響應(yīng)速度的抗激光器損傷的熱電堆。這款探測(cè)器依賴(lài)一項(xiàng)新型的薄膜技術(shù)開(kāi)發(fā)了一個(gè)器件,該器件可以快速的監(jiān)測(cè)到由入射激光能量引起的熱變化。不像傳統(tǒng)的熱電堆探測(cè)器,這款新型PowerMax-Pro傳感器(申請(qǐng)專(zhuān)利中),其熱流動(dòng)垂直通過(guò)只有幾微米厚的薄膜,而非徑向通過(guò)設(shè)備的邊緣,其有幾個(gè)厘米的距離。導(dǎo)致探測(cè)器的響應(yīng)時(shí)間低于10 μs,而傳統(tǒng)的熱電堆,響應(yīng)時(shí)間則超過(guò)了1 s。另外,該探測(cè)器可操作范圍寬至從300 nm到11 μm,并集成了一個(gè)30 mm*30 mm的大的感應(yīng)區(qū)。 PowerMax Pro傳感器的高響應(yīng)速度在商業(yè)應(yīng)用中特別占優(yōu)勢(shì),它可以讓CW激光器和脈沖激光的能量采集更加頻繁,進(jìn)而導(dǎo)致生產(chǎn)力的增加和工藝控制的改進(jìn)。而且,其寬范圍的光譜響應(yīng)和大面積響應(yīng)區(qū)域使得該探測(cè)器能應(yīng)用于幾乎所有的商業(yè),科學(xué),醫(yī)療激光領(lǐng)域,可操作的波長(zhǎng)覆蓋范圍包括可見(jiàn)光,近紅外,和外紅外,也包括CO2激光器的10.6 μm。 新的PowerMax Pro產(chǎn)品包含了兩種類(lèi)型:一個(gè)寬帶覆蓋模型,可操作范圍從300 nm到11 μm;一個(gè)高損傷閾值(14 kW/cm²)模型,覆蓋范圍包括300 nm~1100 nm和9.5 μm ~11 μm。所有的模型在水冷和風(fēng)冷配置中,都覆蓋了50 mW到150 W的功率范圍,噪聲等效功率小于5 mW。傳感器也可以工作在空氣被動(dòng)冷卻中。
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